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      等离子灰化机
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      外观图

      • 外观图

      • 外观图

      • 内槽

      • 硅晶圆灰化状态

      等离子灰化机
      PR500/510/1000
      低温等离子·经典桶型。
      特点
      • 大口径（Φ215mm）石英反应腔。
      • 小型一体化设计。
      • 操作简单的触摸屏方式（PR510型） 。
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