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      等离子清洗机
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      外观图

      • 外观图

      • 内槽

      等离子清洗机
      V1000/1000X/1000XS
      13.56MHz 高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP 双模式 。
      特点
      • 硅晶圆的灰化及蚀刻 。
      • 基板表面污垢处理。
      • IC/LED封装、BGA/CSP基板处理。
      • 半导体相关部品的电子材料的干式清洗 。
      • 自然氧化膜·有机物去除。
      • 界面活性处理。
      • 表面污染物去除。
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